Integriertes 6D Aktoriksystem hexaCUBE190

  • hexaCUBE190

Durch die geschickte Anordnung von sechs Piezoantrieben, Präzisionswälzlagern und Linearführungen, bietet der hexaCUBE weite Verfahrwege und höchste Wiederholgenauigkeit. Die speziell konzipierte Probenplattform verfügt über eine integrierte Apertur und prädestiniert den hexaCUBE zur ultrapräzisen Ausrichtung optischer und mechanischer Komponenten.

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