Linearer Piezoantrieb ECSx3030
Linearer Piezoantrieb ECSx3030
Der ECSx3030 Piezoantrieb verfügt über die kleinste Grundfläche und bietet einen Verfahrweg von bis zu 20 mm. Zur xyz-Positionierung können drei ECS Piezomotoren miteinander kombiniert werden: Zwei werden in senkrechter Ausrichtung aufeinander montiert, ein dritter wird mittels eines entsprechenden Haltewinkels angebracht. Kreuzrollenlager bieten höchste Führungsgenauigkeit.
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